國內設備生產廠家也在一些領域取得了一些突破。北方微電子的ELEDE330系列的干法蝕刻機在國內大約占到了60%的市場份額，而蘇州德龍和深圳大族激光也聯(lián)手搶到了約80%的訂單，而沈陽芯源的直線型和型芯勻膠機也走進了國內大多數(shù)芯片廠的生產車間。此外，多加MOCVD廠家開始推出樣機，并正在從實驗室走向工廠，開始正式轉化為產品。

1、      劃片機

2008年以前我們使用的激光劃片機只有Newwave、Opto、JPSA，進口設備一統(tǒng)天下，根本沒有國產設備的身影。而2008年5月份以后，市場上陸續(xù)出現(xiàn)了德龍、大族、華工。在他們幾年地不懈的努力下，到2011年，市場上的主流紫外劃片設備已基本都是國產設備的天下。設備單價大幅度下降，設備產能大幅提升。 

                                       近幾年紫外劃片機市場變化情況

2011年之后，隨著芯片廠對芯片亮度的不懈追求，傳統(tǒng)紫外切割逐漸顯露出很多不足。隱形劃片機逐漸走進了人們的視野。

深圳大族和蘇州德龍也陸續(xù)推出了隱形切割機。由于隱形切割專利被日本濱松的掌握。很快，德龍就被專利困住，大族激光乘此機會緊急購買日本專利，并迅速進入市場。德龍尋求突破口，對國際專利的壟斷格局，隱形切割設備的生產和芯片的生產得到了徹底解放。

                                          隱形切割機市場變化情況

2、      干法蝕刻機

北方微電子10年開始正式在LED上推干法蝕刻設備，到2011年開始在新增的刻蝕機市場上占有一定比例，在12年推出了330的升級版330plus，在13年又陸續(xù)推出了采用靜電卡盤的330S+、330SGE+。NMC GaN ICP設備憑借較為先進的技術工藝水平、客戶端的穩(wěn)定運行，較快的服務響應時間，2013年一舉取得超過60%的市場份額。

3、      勻膠顯影設備

沈陽芯源是勻膠顯影設備的代表。2009年起，芯源開始投入LED使用的直線型及星型勻膠及顯彰機的推廣�；�于其與臺灣設備較優(yōu)惠和價格及相對迅速地響應時間，同時受惠于國家11.5及12.5重大科技專項支持，設備陸續(xù)在國內各大芯片廠家得到使用，到2013年底，LED領域國內的客戶份額達到了60%以上。

4、      MOCVD

2011年以來，國產MOCVD發(fā)展迅速，多家設備由實驗室開始逐步進入實質性的生產。

                                                圓融與MOCVD廠家的合作

中晟光電設備有限公司是一家較早從事MOCVD設備研發(fā)及生產的企業(yè)。目前和圓融在MOCVD國產化方面展開了合作，在江西圓融有2個反應腔，處于調試階段，后續(xù)將增加為4個反應腔合一的整體結構。

中晟MOCVD單個反應腔的容量為66片（2英寸），頂蓋距離托盤的距離為5cm，設備整體設計較為精良，操作方便，中文界面，有利于操作人員工作。

目前設備正處于調試階段，初步的結果較理想，正在做進一步的調試研發(fā)。希望未來在維護周期方面可以延長，提高設備的利用率。

中微半導體設備（上海）有限公司是一家專業(yè)從事半導體設備研發(fā)及生產的企業(yè)，主要產品有半導體集成電路介質膜刻蝕設備、MOCVD設備等。目前在江西圓融有2個MOCVD的反應腔，1個已經(jīng)投入量產，產品性能可以達到我公司的內部標準，性能指標與Veeco機臺表現(xiàn)接近，另外1個反應腔在調試過程中，后續(xù)也將增加為4腔。

中微MOCVD單個反應腔的容量為54片（2英寸），頂蓋距離托盤的距離為9cm，維護周期約為30~40天。

由于是新的設備，在調試過程中也發(fā)現(xiàn)了一些可提升的空間，希望在今后可以通過設計、部件等方面的優(yōu)化將使設備更加完善。

5、      其它設備

其它設備如研磨機、清洗機、甩干機、蒸鍍機、裂片機、點測機、分揀機等，其中雖有部分國產設備，但七成以上的設備均為臺灣或進口設備。如點測機分選設備中電45所及深圳矽電也在積極推進，但整體比例國產設備市場份額不超過10%。

此外這些設備除研發(fā)資金較高，研發(fā)周期較長，技術更新快之外，市場推廣難。國產設備沒有量產的檢驗及反饋后的改進，因此在穩(wěn)定性上略有不足，也造成芯片廠家對國產化設備信心不足。很多企業(yè)在送樣機進行Demo較為順利，一到批量推廣就面臨重重困難。

6、      圓融使用情況

國產設備列表

二、設備國產化前路漫漫

1、 星星之火

（1） 星火燎原之勢

2003年以來，外延芯片廠家的生產車間基本上都是進口設備，但是隨著國內設備廠家的不懈努力，從最開始的甩干機、退火爐、清洗臺、顯微鏡等簡單設備到激光切割機、干法蝕刻機、勻膠顯影設備在很多企業(yè)已經(jīng)得到應用，服務于生產中。

（2） 國產設備出現(xiàn)后的影響力

國產設備的出現(xiàn)，由于地域的關系和廠家的服務態(tài)度，直接導致進口設備廠家的服務態(tài)度好轉、價格下調，特別是國產MOCVD設備的出現(xiàn)（雖然現(xiàn)在還沒有形成氣候），使得進口MOCVD設備價格大幅下降，服務態(tài)度大幅度提升。生產企業(yè)直接受益。

（3） 重大裝備國產化的希望之星

目前國內多家企業(yè)已經(jīng)生產出來MOCVD設備，并且有多家外延芯片企業(yè)正在試用，重大裝備國產化的希望之星已然誕生，正在逐漸形成星火燎原之勢。

2、 發(fā)展建議

（1）通過整合、合并，提高競爭力和抗風險能力

設備研發(fā)制造，研發(fā)周期長，技術更新快，需要持續(xù)投入，對于中小型企業(yè)來說風險較高。建議相同或相近的設備制造廠家通過聯(lián)合、并購、重組等各種方式，抱團取暖，避免重復投入，集中優(yōu)勢資源，提高設備的性能和競爭力。努力做到大而專，避免小而全。

（2）進入芯片廠家方式可以多樣化

以合作共同研發(fā)、Demo、融資租賃等方式。

(3)發(fā)揮地域和服務優(yōu)勢

國產化不只是要提供優(yōu)質的設備，同時要提供與之配套的備件、原材料、服務以及技術解決方案。深入了解客戶的需求。

（4） 在新的領域突破

擺脫一直跟在國外設備后面跑的問題，做到先入為主，占領新的制高點。

三、 企業(yè)的心聲

（1） 在前幾年各地政府對于MOCVD設備的引進給予了相應的補貼，使得MOCVD設備的擁有量大幅度增加。在這種不利的條件下，國產MOCVD設備廠家經(jīng)過一段蟄伏期生產出可用于產業(yè)化的MOCVD設備，并且有企業(yè)正在試用。希望國家相關部門出臺政策加以扶持和正確引導，鼓勵使用國產設備，其中包括采購費用補貼，或稅收減免或采用專項扶持等，盡快實現(xiàn)重大裝備國產化的目標。

（2） 國產設備特別是MOCVD設備是LED產業(yè)鏈中的核心高端裝備。研發(fā)投資額耗費巨大，若企業(yè)沒有長期、持續(xù)的投入，很難在短期有立竿見影的經(jīng)濟效益。國產設備也是產品，10臺、50臺、100臺甚至更多，希望生產廠家要有充分的思想準備和經(jīng)濟實力以及如何解決長期投入帶來的投資壓力。

（3） 作為外延芯片企業(yè)愿意和設備廠家共同努力，推進設備國產化進程。正是因為有了你們的付出使得進口設備廠家放下身段，降低價格，通過我們的使用促進了設備國產化，形成了正能量的良性循環(huán)。

（4） 最后希望在設備廠家和使用企業(yè)的共同努力下，在政府相關部門的支持下，共同推進重大裝備國產化的目標，讓LED照明全行業(yè)越來越多的國產設備出現(xiàn)，為行業(yè)發(fā)展做貢獻。（本文系根據(jù)圓融光電總經(jīng)理康建演講報告整理）